高靈敏度二氧化硅濃度計(jì)
SLIA-300高靈敏度二氧化硅濃度計(jì)
滿足以 0.01µg/L (0.01 ppb) 的較高靈敏度測量超低密度二氧化硅的客戶需求
半導(dǎo)體生產(chǎn)制程中使用的超純水可以通過使用離子交換樹脂進(jìn)一步純化?？焖俨东@從離子交換樹脂中溶解的二氧化硅可以控制超純水的質(zhì)量，這對制程十分重要。
HORIBA Advanced Techno 開發(fā)并采用了一種新的“長光路徑長度測量單元"，能夠?qū)Τ兔芏榷趸柽M(jìn)行高靈敏度測量，同時(shí)還提供緊湊的桌面型號，以提高實(shí)用性。
該產(chǎn)品具有自診斷等一系列標(biāo)準(zhǔn)功能以及高速響應(yīng)和高靈敏度等新的性能改進(jìn)，為半導(dǎo)體生產(chǎn)制程中的純水工藝提供了更強(qiáng)的支持
●高靈敏度和高重復(fù)性
應(yīng)用光纖技術(shù)確保約 1 m 的長光路徑實(shí)現(xiàn)了超低密度的高靈敏度響應(yīng)。該產(chǎn)品可確保 5 分鐘高速測量過程，在 0-2 µg/L 測量范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)±2% F.S.的重復(fù)精度。
●桌面型號緊湊設(shè)計(jì)
長光路徑長度測量單元"的靈活結(jié)構(gòu)也實(shí)現(xiàn)了革命性的緊湊設(shè)計(jì)。這種桌面型號適用于狹窄空間在內(nèi)的各種安裝條件。
●試劑消耗減少至 1/5
為了將試劑消耗減少至先前的 1/5，反應(yīng)單元已改進(jìn)并與測量池分離。此外，測量單元已變更為管路型。采用“長光路徑長度測量單元"可以大幅降低試劑的運(yùn)行成本。
●試劑消耗減少一半以上
不僅減少了試劑的消耗，還減少了樣品水的消耗。通過采用“長光路徑長度測量單元"，昂貴的純水（用作樣品水）消耗減少了 60%。HORIBA Advanced Techno 的二氧化硅濃度計(jì)有助于降低現(xiàn)場運(yùn)行成本。
●濃度計(jì)誤操作的自診斷功能
對誤操作執(zhí)行自診斷，例如樣品水和/或試劑注入、校正錯(cuò)誤、單元內(nèi)溫度檢測和光源錯(cuò)誤。發(fā)現(xiàn)錯(cuò)誤時(shí)，警告燈點(diǎn)亮并顯示文本消息。
自動校正實(shí)現(xiàn)出色的可維護(hù)性
持續(xù)自動執(zhí)行零點(diǎn)校準(zhǔn)，以檢查透射光并校正濁度。
●允許多達(dá)六點(diǎn)測量（可選）
可設(shè)置多達(dá)六個(gè)測量點(diǎn)。單個(gè)單元可進(jìn)行多點(diǎn)測量。
●采用光源：無需更換
采用單色性半導(dǎo)體光源，提供穩(wěn)定的光量和更長的壽命?？捎米鞴庠础?/p>
●長光路徑長度測量單元：可檢測低至 0.01 µg/L
測量單元為雙層結(jié)構(gòu)，其中透光氟碳樹脂管穿過不銹鋼管。由于碳氟化合物管和周圍空氣之間的折射率差異，從管路一側(cè)進(jìn)入的光到達(dá)另一側(cè)之前在管路中反復(fù)反射。
這種光傳輸機(jī)制是光纖有效率和低阻塞原理的應(yīng)用，實(shí)現(xiàn)了更高的檢測靈敏度和高重復(fù)性。
這款長光路徑測量單元采用柔性管路結(jié)構(gòu)，尺寸緊湊。通過將長達(dá) 1 米的單元存儲在桌面緊湊機(jī)身中，成功將單元尺寸縮小至前代型號的 1/8。
此外，該測量單元的管路結(jié)構(gòu)可有效降低運(yùn)行成本：顯色劑和樣品水的消耗分別降低到先前量的 1/5 和 1/2。
SLIA-300高靈敏度二氧化硅濃度計(jì)規(guī)格
| Model | SLIA-300 | |
|---|---|---|
| Measurement method | Molybdic blue absorptiometry | |
| Measurement range | 0 to 2 / 0 to 20 µg/L, or 0 to 5 / 0 to 50 µg/L (please specify when placing an order) | |
| Measurement time | 5 minutes | |
| Measurement points | 1 to 6 points (please specify when placing an order) | |
| Reproducibility | ±2% of full scale | |
| Calibration function | Standard fluid calibration | |
| Compensation function | Blank compensation Metage line compensation (Specific to each line) | |
| Reagent used | · Reagent A: sulfuric acid + ammonium molybdate · Reagent B: oxalic acid · Reagent C: L (+) - ascorbic acid | |
| Reagent replacement interval | One week (according to the recommended period of our company) | |
| Power | 100 to 240 V AC 50/60 Hz | |
| Max. power consumption | Approx. 600 VA | |
| Installation condition | Indoor, Ambient temperature 10 to 35°C, Humidity 85% or lower | |
| Sample water condition | · Water temperature: 15 to 35°C · Supplied flow rate: 250 to 300 mL/min (must be adjustable) · Pressure: 0.1 to 0.5 MPa | |
| Outside dimensions | 580 (W) x 375 (H) x 500 (D) mm | |
| Weight | One-point measurement: approx. 41 kg (plus 1 kg for an additional measurement point) | |
| External I/O | Density output | 4 to 20 mA DC / 0 to 16 mA DC / 0 to 1 V DC (to be specified at order) |
| Contact output | · Common to all lines: During measurement, synchronous signals, alarms (batch), heaters, power off, calibration signals 1 and 2, density upper limit warning, or sample water off. · Specific to each line: Measurement range, density upper limit warning, or sample water off (the density limit warning or the sample water off batch or respective line alarm should be specified when placing an order. The alarm contents should be also selected when placing the order.) | |
| Contact input | · Common to all lines:Calibration start, measurement start, cost-efficient operation, line selection, measurement low range, measurement high range | |
| Serial I/O | RS-232C | |
| Applicable standard | CE mark, FCC Part 15 | |
| Option | Sample water heating unit, standard fluid supply unit, reagent blending tools | |
備案號：滬ICP備18009883號-3 技術(shù)支持：化工儀器網(wǎng) GoogleSitemap 管理登陸
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